聚焦刻蚀、PVD/CVD薄膜、清洗、涂胶显影、离子注入五大核心设备,展出整机国产化成果;重点落地射频电源、陶瓷静电卡盘、高精度阀组、光学模组、耐腐蚀喷淋头、真空泵等刚需零部件的量产适配方案,匹配成熟制程扩产交付需求。
先进封装(Chiplet/2.5D/3D)设备配套体系
适配封装设备价值量抬升趋势,展出晶圆测试设备、倒装键合机、RDL制备设备;配套探针台组件、分选机精密传动件、封装检测光学部件、临时载具耗材,匹配先进封装千亿级市场增量。
成熟制程&特色工艺设备(功率/车规芯片)
面向SiC/GaN功率器件、车规芯片产线扩产,展出高压外延设备、退火...